HPAS Mono : 超高精密堆疊對準系統

精密堆疊:二維材料、異質結構、懸浮元件、奈米電子、金屬遮罩等

電腦輔助對準技術:XYZ 精密度到 50 奈米

可在手套箱內透過外部軟體操控

次微米對準技術

快速精準:減少氧化與污染、堆疊品質優異可靠。

 

HPAS feature image overlapping

50-nm 平面解析度 & 0.056˚ 旋轉解析度

 

 

物體追蹤

HPAS feature object tracking

在即時顯微觀測中偵測物體邊緣。

對比增強

HPAS feature contrast enhancement

在即時顯微觀測中改善顏色對比。

 

影像重疊

HPAS feature image overlapping

將預對焦影像與不同深度物體影像重疊對準。

RGB 分析

HPAS feature rgb analysis

四色頻道(紅綠藍灰)厚度分析。

 

 

溫度控制

HPAS feature image overlapping

可加熱至 150˚C,即時 PID 迴饋控制。

 

設計

簡單設置、快速換樣、精密對準、專業功能

 

Nanovie Product HPAS Alignment Stacking

 

可在手套箱內透過外部軟體做顯微觀測與高精密操作,不受多層手套與傳統光學顯微鏡限制。

 

亦可採用 HPAS Mono 專用的整合性鈍氣室,無需使用多層手套操作,從樣品準備、放置、對準到堆疊等工作,都能輕鬆完成。

 

對準與堆疊程序

HPAS control interface

控制介面-電動載台、即時影像、焦距、色彩頻道與溫度控制。

 

1) 找尋目標

HPAS standard procedure 05 g

2) 對焦與定位

HPAS standard procedure 09

3) 對準與堆疊

HPAS standard procedure 11 g

4) 光學顯微鏡檢查

HPAS standard procedure 12 g

技術特長

  • Nanovie HPAS Mono 堆疊系統 (High-Precision Alignment Stacking) 具備次微米級對準能力,搭配各項專業之電腦輔助對準技術,能在堆疊異質結構或二維材料時,達到高精密之對齊需求。

     

    次微米精密對準
    • XYZ 解析度 ≈ 50 nm/step
    • 旋轉解析度 ≈ 0.056°
    • 戴台 XYZ 行程 ≈ 2 x 2 x 5 cm

     

    電腦輔助功能
    • RGB分析
    • 對比增強
    • 物件追蹤
    • 影象疊加

     

  • Nanovie HPAS Mono 採用專業級光學物鏡搭配高感度之數位相機,執行高精密度之對準任務。對於較簡單工作,亦可僅採用通用型之數位相機。

     

    光學物鏡
    • 倍率 = 20 X
    • 數值孔徑 = 0.45
    • 平場修正*
    • 像差修正*
    • 複消色差修正*
    • 輔助光源

     

    數位相機
    • 高感度感測器
    • 感測器尺寸: 1/2.8" (pixel size ≈ 3 μm)
    • 動態解析度: 1920 x 1080 p (Video)
    • 靜態解析度: 3264 x 1836 p
    • 曝光時間: 1 ms ~ 10 sec
    • 支援媒體: UDB, HDMI, SD card (class 10)

     

    * 以上規格得依機型設計或客製化需求改變,不另行通知。

  • Nanovie HPAS Mono 適合各種二維材料等研發創新。

     

    二維異質結構:

    • Photovoltaic cells / photodetectors
    • Interface / contact improvement
    • Light-emitting / tunnelling diodes
    • Electrolyte / logic gates

     

    其他應用:

    • Suspended devices
    • Metal mask alignment
    • Nanoscale electronics

     

  • Nanovie HPAS Mono 桌上型工作台具備先端材料之各種專業堆疊技術。

     

    機械主體

    • 尺寸 (mm) : 450 X 340 X 500(H)
    • 重量 (kg) : 16.5 kg

     

    電控盒

    • 電源: 12V DC 1A (Input: 100-240V AC @ 50/60Hz)
    • 尺寸 (mm) : 275 X 190 X 65(H)
    • 重量 (kg) : 1.5 kg

     

    樣品工作空間

    • 樣品尺寸 (mm) < 20 X 20
    • 工作空間 (mm) : 20 X 20 X 50(H)

     

    其他需求

    • 作業系統 : Windows 7, 8, 10
    • USB 插槽 : 2 Ports